異物分析、基板上の微小異物の元素分析

異物分析SEM-EDX、製品に付着した微小な異物に対して、拡大観察、局部的な元素の分析を行います。これによって、視覚情報、元素組成から微小異物がどのようなものであるのか推定することができます。フィルムに挟まれた異色異物の同定分析、レーザーラマン分光光度法不良製品に付着し取り出せなかったり、製品に埋没している異物を非破壊で同定することができます。

ダスト（ちり、ほこり、ごみ）の成分分析フーリエ変換赤外線分光光度法クリーンルーム内の製品製造において、ダスト発生をさせないことは重要になります。万が一ダストを発見してしまった場合に、その成分を調べることによって発生源の推定、対策を実地することができます。鉱物種の同定分析には蛍光X線（XRF）分析とX線回析（XRD）分析があります。